纳米尺度打磨世界级技术(图)

　　日前发布的《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006－2020年)》，标志着自主创新这一国家战略已经进入实际运筹层面。同时发布的《中央、国务院关于实施科技规划纲要增强自主创新能力的决定》也发出号召：动员全党全社会力量，为建设创新型国家而奋斗。

　　安集微电子以纳米尺度瞄准并打造世界级技术的成功实践，再次显示了自主创新的巨大活力。企业是创新体系建设的核心。“自主产权是安集的生命”，他们的这一体会尊龙人生旧版，正是对建设创新型国家战略的最好回应。

　　可喜的是尊龙人生旧版尊龙人生旧版，像安集微电子这样以自主创新为使命的企业在上海越来越多。本报今起推出《推进自主创新提升国际竞争力》专栏，分别以“典型案例篇”和“领军人物谱”专题，多侧面、多层次地展现“十一五”开局之年全市大力实施科教兴市主战略尊龙人生旧版尊龙人生旧版、增强自主创新能力的最新进展，敬请读者关注。

　　春节刚过，张江一座办公楼里已忙忙碌碌尊龙人生旧版尊龙人生旧版。安集微电子——一家创办1年多的公司正在紧张地调试仪器。在相距十分钟车程的金桥，一片三千多平米的空厂房已准备好尊龙人生旧版尊龙人生旧版，未来一、两个月，设备就将进场安装尊龙人生旧版。

　　安集总裁、48岁的俞昌——一个在美国生活了20多年，在多家世界顶级芯片公司工作过的“海归”，已把事业扎根在张江。曾任美国一家世界级芯片材料企业研发主管的他，拥有40多项美国专利尊龙人生旧版，在他们所从事的材料领域，他和另一位“海归”创始人尊龙人生旧版、技术总监王淑敏都是世界级专家，成果被应用于全球各个芯片工厂。

　　2004年夏，上海浓厚的创新氛围、“东方硅谷”的前景尊龙人生旧版，吸引他们创办了安集尊龙人生旧版。同时以他们为核心，凝聚起了国内外一流的团队。

　　芯片研磨剂，是安集从事的几个重要研发项目中的一个。虽然听起来冷门，却是所有芯片工厂的必需尊龙人生旧版。

　　集成电路可谓是在方寸间制造大量导电线路的技术。简单说就是在硅晶圆盘上，用特殊工艺依照设计图刻下窄而深的槽，然后镀上一厚层金属，比如铜。开始，整片硅晶圆上全被铜覆盖，这就需要把表面的铜磨去，直到只剩下槽里的铜——于是就成了远比毫发更细的铜线电路。

　　硅晶圆上的槽——或者说导线有多窄？目前主流技术下，芯片的线纳米，或者说，头发直径的1/500；而说起来“深”，实际上也不过头发直径的几十分之一。在微观尺度内，尘粒就是巨石，需要打磨掉的薄薄金属层就是高原。

　　实际上，晶圆上需要磨掉的远不止一层铜尊龙人生旧版，这个表面“沟壑”复杂，各种材料“软硬”相异，要在纳米尺度上磨得恰到好处，不多去掉一层尊龙人生旧版，不少打薄一分尊龙人生旧版，关键就在研磨机和晶圆之间的化学试剂。

　　俞昌告诉记者，他们用来衡量研磨平整度尊龙人生旧版、稳定度的单位是“埃”尊龙人生旧版，也就是1纳米的1/10。在控制严格的实验室中，空气洁净度的要求最高需要达到100——也就是1立方米空气里不超过100颗尘粒。一套全新的研发设备流水线千万美元尊龙人生旧版。这多少说明了该行业的技术和资金门槛。

　　在安集的实验室里尊龙人生旧版，记者见到了最终的产品——就是像稀释过的牛奶，泛着浅浅银光。

　　“自主产权是安集的生命。”俞昌表示：“虽然过去我们在美国拥有知识尊龙人生旧版、经验，但是在上海做的完全是安集从头开始、自主创新的成果。”创业至今，安集夜以继日埋头研发尊龙人生旧版。目前已在美国和国内申请了21项专利。根据测试尊龙人生旧版，他们的产品已达到了国际领先水平。

　　据了解，目前世界上能成功开发安集所从事的材料的公司只有寥寥几家。国内尽管从2000年开始，兴起了集成电路制造工厂的建厂热潮，但相关高端试剂几乎完全依赖进口尊龙人生旧版，国内仅安集所处市场的规模，每年达2亿美元尊龙人生旧版。

　　由于试剂生产企业都在国外，因此国内芯片工厂很难得到迅捷的技术支持。国内提要求，国外研制并空运新配方……一来一去，就是数周。

　　每个芯片工厂的工艺、产品都有不同，需要的试剂配方也不尽相同尊龙人生旧版。而且，随着芯片技术的迅速升级尊龙人生旧版尊龙人生旧版，需要不断开发新试剂。这就要求试剂研发企业同芯片工厂保持最快捷的互动，而安集公司和张江的芯片企业，最近的车程只有10分钟尊龙人生旧版尊龙人生旧版尊龙人生旧版，安集的工程师，可以24小时在工厂提供服务。

　　机遇总是与挑战并存。目前，国内外已经有一些芯片企业打算或者开始试用安集的产品尊龙人生旧版，但要完全获得市场的信任尊龙人生旧版，需要时间。俞昌表示尊龙人生旧版尊龙人生旧版，计划在3年内成为国内的第一大供应商尊龙人生旧版，同时尊龙人生旧版，稳步参与海外市场竞争。

　　创业一年多来，俞昌正和他的团队一起，凭借出色的技术和行业内的声望，参与到国内芯片业的快速发展中。

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